FlexSEM1000掃描電鏡憑借全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和高靈敏度檢測(cè)器，可在加速電壓20 kV下實(shí)現(xiàn)4.0 nm的分辨率。全新開發(fā)的用戶界面，具有亮度和對(duì)焦自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，可以在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行各種觀察。此外，還搭載了全新的導(dǎo)航功能“SEM MAP”，這個(gè)功能可彌補(bǔ)電子顯微鏡上難以找準(zhǔn)視野的缺點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)最直觀的視野移動(dòng)。